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在超级电容器生产中，超纯水主要用作清洗用水及用来配制各种溶液、浆料。超级电容器生产工艺过程中的78%的工序需要使用超纯水清洗产品，超纯水水质的好坏与超级电容器的成品质量及生产成品率关系很大。水中的碱金属(K、Na等)会使绝缘膜耐压不良，重金属(Au、Ag、Cu等)会使PN结耐压降低，Ⅲ族元素(B、Al、Ga等)会使N型半导体特性恶化，Ⅴ族元素(P、As、Sb等)会使P型触摸屏特性恶化，水中细菌高温碳化后的磷(造纸黑液废水处理设备约占灰分的20-50%)会使超级电容器上的局部区域变为N型硅而导致器件性能变坏，水中的颗粒(包括细菌)如吸附在触摸屏表面，就会引起产品特性变差。
电容器清洗用超纯水设备的工艺流程
1、采用离子交换方式，其流程如下
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→微孔过滤器→用水点
2、采用两级反渗透方式，其流程如下
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→第一级反渗透 →PH调节→中间水箱→第二级反渗透(反渗透膜表面带正电荷)→纯化水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
3、采用EDI方式，其流程如下
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点
电容器清洗用超纯水设备的特点
1、零部件均采用进口产品，技术先进。
2、质量可靠，整体化程度高，易于扩展，增加膜数量即可增加处理量。
3、自动化程度高，遇故障立即自停，具有自动保护功能。
4、膜组件为复合膜卷制而成，表现出更高的溶质分离率和透过速率。
5、能耗低，水利用率高，运行成本低。
6、结构合理，占地面积少。
7、先进的膜保护系统，在设备关机，淡化水可自动将膜面污染物冲洗干净，延长膜寿命。
8、系统无易损部件，无须大量维修，运行长期有效。
9、设备有膜清洗系统用阻垢系统。
