洁净室内的温度和湿度要求为：生产工艺对温度、湿度无特殊要求时，以穿着洁净工作服不产生不舒服感为宜。空气洁净度100级、10000级区域一般控制为20~40ºc,相对湿度为45%~60%，100000级区域一般控制为18~28ºc,相对湿度为50%~65%。生产工艺对温度和湿度有特殊要求时，应根据工艺要求确定。
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